フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

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フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

研究代表者 古屋謙治

(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度-18年度)

[九州大学], 2007.3

Other Title

平成17~18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Title Transcription

フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ

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課題番号: 17540471

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Details

  • NCID
    BA8218205X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    65p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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