フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

Author(s)

Bibliographic Information

フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

研究代表者 古屋謙治

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度-18年度）

[九州大学], 2007.3

Other Title

平成17～18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Title Transcription

フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号: 17540471

Related Books： 1-1 of 1

Details

  • NCID
    BA8218205X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    65p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
Page Top