細束X線応力評価に基づく薄膜の疲労損傷機構のマイクロ破壊力学的研究
著者
書誌事項
細束X線応力評価に基づく薄膜の疲労損傷機構のマイクロ破壊力学的研究
[出版者不明], 2007.3
- タイトル別名
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平成16年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書
- タイトル読み
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サイソク Xセン オウリョク ヒョウカ ニ モトヅク ハクマク ノ ヒロウ ソンショウ キコウ ノ マイクロ ハカイ リキガクテキ ケンキュウ
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注記
研究分担者: 秋庭義明, 佐藤一雄, 來海博央 [ほか]
課題番号: 16206014