磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発

著者

    • 島田, 邦雄 シマダ, クニオ

書誌事項

磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発

研究代表者 島田邦雄

(科学研究費補助金(基盤研究(C))成果報告資料, 平成17-18年度)

[福島大学共生システム理工学類], 2007.4

タイトル別名

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

タイトル読み

ジバ セイギョ ニヨル 3ジゲン フクザツ ケイジョウメン ノ ゼンメン ドウジ ケンマ ニ カンスル シンガタ ナノ ケンマ ソウチ ノ カイハツ

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注記

研究課題番号: 17560089

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA82409552
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [福島]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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