炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

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炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

黒田光太郎 [ほか著]

[出版者不明], 2007.3

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平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

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タンカ ケイソ タンケッショウ キバン ニオケル ケッカン ケイセイ キコウ ノ カイメイ ト ケッカン ミツド テイゲン ホウホウ ノ カイハツ

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研究分担者: 佐々木勝寛

片面印刷

課題番号: 17360338

Details

  • NCID
    BA82519674
  • Country Code
    xx
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    49p
  • Size
    30cm
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