MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価

著者

• 梅原, 徳次 ウメハラ, ノリツグ

書誌事項

MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価

梅原徳次 [ほか著]

[出版者不明], 2007.3

タイトル別名

平成16年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

MEMS ノ タメ ノ キノウセイ ヒョウメン ノ ソウセイホウ ノ カイハツ ト ヒョウカ

注記

課題番号: 16360066

研究分担者: 上坂裕之

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82525145
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 328p
• 大きさ: 30cm