合金清浄表面の選択スパッタリングと偏析過程に関する研究

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合金清浄表面の選択スパッタリングと偏析過程に関する研究

研究代表者 山科俊郎

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 昭和53・54年度）

[北海道大学工学部], 1980.3

Other Title

昭和54年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

Title Transcription

ゴウキン セイジョウ ヒョウメン ノ センタク スパッタリング ト ヘンセキ カテイ ニカンスル ケンキュウ

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研究課題番号: 347051

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Details

  • NCID
    BA82582444
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    136p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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