Dielectric films for advanced microelectronics

著者

• Baklanov, Mikhail
• Green, Martin
• Maex, Karen

書誌事項

Dielectric films for advanced microelectronics

edited by Mikhail Baklanov, Martin Green and Karen Maex

（Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications）

John Wiley & Sons, c2007

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82705952
• ISBN:
  • 9780470013601
• LCCN: 2006030740
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Chichester, England ; Hoboken, N.J.
• ページ数/冊数: xxii, 486 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.15.F5
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Dielectric films
  • LCSH : Microelectronics -- Materials
• 親書誌ID:
  • BA71212396