Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology

著者

• Hierlemann, Andreas

書誌事項

Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology

A. Hierlemann

（Microtechnology and MEMS）

Springer, c2005

注記

Includes bibliographical references (p. [193]-217) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82718160
• ISBN:
  • 3540237828
• LCCN: 2004114045
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: ix, 229 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.39/732
• 件名:
  • LCSH : Metal oxide semiconductors, Complementary
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Sensorimotor integration
• 親書誌ID:
  • BA51409718