半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

Author(s)

• 平田, 真史 ヒラタ, マフミ

Bibliographic Information

半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

平田真史研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17-18年度）

[平田真史], 2007.3

Title Transcription

ハンドウタイ イオン ケンシュツキ オ モチイタ ニジ デンシ ジコ カイシュウガタ イオン ゼッタイ デンリュウリョウ ケイソクキ アレイ ノ カイハツ

Note

研究課題番号: 17540465

• NCID: BA82851116
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [つくば]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121