極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御

著者

• 節原, 裕一 セツハラ, ユウイチ

書誌事項

極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御

研究代表者 節原裕一

[節原裕一], 2006.5

タイトル別名

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

キョクセン ハンドウタイ セツゴウ ソウセイ ノ タメ ノ コヒーレント フォノン レイキガタ アニール プロセス ノ カイメイ セイギョ

注記

課題番号: 15360388

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82863250
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [茨木]
• ページ数/冊数: 69p
• 大きさ: 30cm