水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化

Author(s)

• 北原, 邦紀 キタハラ, クニノリ

Bibliographic Information

水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化

研究代表者 北原邦紀

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度～平成18年度）

[島根大学], 2007.3

Other Title

平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書

Title Transcription

スイソ ト ラマン ブンコウ オ モチイタ ハクマクガタ ジョウホウ キキヨウ ポリシリコン ノ コウセイノウカ

Note

課題番号: 17560284

• NCID: BA82882142
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [松江]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121