水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化

著者

• 北原, 邦紀 キタハラ, クニノリ

書誌事項

水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化

研究代表者 北原邦紀

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度～平成18年度）

[島根大学], 2007.3

タイトル別名

平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書

タイトル読み

スイソ ト ラマン ブンコウ オ モチイタ ハクマクガタ ジョウホウ キキヨウ ポリシリコン ノ コウセイノウカ

注記

課題番号: 17560284

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82882142
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [松江]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121