複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

Author(s)

• 竹内, 芳美 タケウチ, ヨシミ

Bibliographic Information

複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

研究代表者 竹内芳美

[竹内芳美], 2006.3

Other Title

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書

Title Transcription

フクゴウ キノウ ソシ ノ 6ジク セイギョ チョウセイミツ マイクロ カコウ

Note

研究課題番号: 16360069

参考文献あり

Details

• NCID: BA82907764
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [吹田]
• Pages/Volumes: iii, 49p
• Size: 30cm