複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

著者

• 竹内, 芳美 タケウチ, ヨシミ

書誌事項

複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

研究代表者 竹内芳美

[竹内芳美], 2006.3

タイトル別名

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書

タイトル読み

フクゴウ キノウ ソシ ノ 6ジク セイギョ チョウセイミツ マイクロ カコウ

注記

研究課題番号: 16360069

参考文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82907764
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: iii, 49p
• 大きさ: 30cm