複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

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複合機能素子の6軸制御超精密マイクロ加工

研究代表者 竹内芳美

[竹内芳美], 2006.3

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平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書

Title Transcription

フクゴウ キノウ ソシ ノ 6ジク セイギョ チョウセイミツ マイクロ カコウ

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Note

研究課題番号: 16360069

参考文献あり

Details

  • NCID
    BA82907764
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    iii, 49p
  • Size
    30cm
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