Diazonaphthoquinone-based resists

著者

• Dammel, Ralph

書誌事項

Diazonaphthoquinone-based resists

Ralph Dammel

（Tutorial texts in optical engineering, v. TT 11）

SPIE Optical Engineering Press, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA82982555
• ISBN:
  • 0819410195
• LCCN: 92025724
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash., USA
• ページ数/冊数: 203 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC20 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Photoresists
  • LCSH : Masks (Electronics)
• 親書誌ID:
  • BA11743995