ナノインプリント応用事例集 :～原理/材料/装置/モールド/離型/評価/量産動向/特許等を踏まえて～
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ナノインプリント応用事例集 :～原理/材料/装置/モールド/離型/評価/量産動向/特許等を踏まえて～
情報機構, 2007.9
- タイトル別名
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ナノインプリント応用事例集 :～原理/材料/装置/モールド/離型/評価/量産動向/特許等をふまえて～
- タイトル読み
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ナノインプリント オウヨウ ジレイシュウ : ゲンリ ザイリョウ ソウチ モールド リケイ ヒョウカ リョウサン ドウコウ トッキョトウ オ フマエテ
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注記
執筆者: 谷口淳[ほか]
章末文献あり