ナノ・マイクロマシニング技術を援用したピエゾ抵抗ナノ細線の機械・電気特性評価
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ナノ・マイクロマシニング技術を援用したピエゾ抵抗ナノ細線の機械・電気特性評価
[磯野吉正], 2007.5
- タイトル別名
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ナノマイクロマシニング技術を援用したピエゾ抵抗ナノ細線の機械電気特性評価
科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 平成16年度〜平成18年度
- タイトル読み
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ナノ マイクロマシニング ギジュツ オ エンヨウ シタ ピエゾ テイコウ ナノサイセン ノ キカイ デンキ トクセイ ヒョウカ
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注記
平成16年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
課題番号: 16360058
参考文献あり