ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

山口高司, 平田光男, 藤本博志編著

東京電機大学出版局, 2007.10

Other Title

Nanoscale servo control

ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術

Title Transcription

ナノスケール サーボ セイギョ : コウソク コウセイド ニ イチ オ キメル ギジュツ

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Note

付属資料: CD-ROM (1枚 ; 12cm)

各章末: 関連図書

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 基礎編(序論;ナノスケールサーボのためのモデリング;ナノスケールサーボのための制御系設計の基礎)
  • 応用編(ナノスケールサーボのための超精密制御系設計;ナノスケールサーボのための超高速制御系設計;コンシューマエレクトロニクス対応の制御系設計;HDDベンチマーク問題)

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