ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

山口高司, 平田光男, 藤本博志編著

東京電機大学出版局, 2007.10

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Nanoscale servo control

ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術

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ナノスケール サーボ セイギョ : コウソク コウセイド ニ イチ オ キメル ギジュツ

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Note

付属資料: CD-ROM (1枚 ; 12cm)

各章末: 関連図書

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 基礎編（序論；ナノスケールサーボのためのモデリング；ナノスケールサーボのための制御系設計の基礎）
  • 応用編（ナノスケールサーボのための超精密制御系設計；ナノスケールサーボのための超高速制御系設計；コンシューマエレクトロニクス対応の制御系設計；ＨＤＤベンチマーク問題）

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