Handbook of semiconductor manufacturing technology

著者

• Doering, Robert
• Nishi, Yoshio

書誌事項

Handbook of semiconductor manufacturing technology

edited by Robert Doering, Yoshio Nishi

CRC, Taylor & Francis, c2008

2nd ed.

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA83567140
• ISBN:
  • 9781574446753
• LCCN: 2006102599
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 1 v. (various pagings)
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC22 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc
  • LCSH : Semiconductor industry -- Handbooks, manuals, etc