薄膜トランジスタ技術のすべて : 構造,特性,製造プロセスから次世代TFTまで
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薄膜トランジスタ技術のすべて : 構造,特性,製造プロセスから次世代TFTまで
工業調査会, 2007.10
- タイトル別名
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Thin film transistor
薄膜トランジスタ技術のすべて : 構造特性製造プロセスから次世代TFTまで
- タイトル読み
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ハクマク トランジスタ ギジュツ ノ スベテ : コウゾウ トクセイ セイゾウ プロセス カラ ジセダイ TFT マデ
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注記
参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
ＴＦＴ‐ＬＣＤとして一大産業を築き上げた薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は、ガラス基板上への回路機能集積、シリコン系デバイス以外への開発活発化など、新たな時代に突入しようとしてる。本書は、ａ‐Ｓｉ ＴＦＴ開発の黎明期からＲ＆Ｄおよび事業化に携わった技術者が、ＴＦＴの全貌から学会を賑わせている最先端情報までを余すところなく解説。
目次
- １ 薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）とは
- ２ 薄膜トランジスタの開発経緯
- ３ 薄膜トランジスタのデバイス構造と特性
- ４ 薄膜トランジスタの製造技術
- ５ 薄膜トランジスタの応用技術
- ６ 薄膜トランジスタの将来展望
「BOOKデータベース」 より