電子照射によるナノファブリケーションの基礎

著者

• 竹田, 精治 タケダ, セイジ

書誌事項

電子照射によるナノファブリケーションの基礎

研究代表者 竹田精治

[竹田精治], 2007.3

タイトル別名

平成15年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

デンシ ショウシャ ニ ヨル ナノファブリケーション ノ キソ

注記

[課題番号]: 15201026

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA83670354
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [豊中]
• ページ数/冊数: 75p
• 大きさ: 30cm