プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
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プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
[浜口智志], 2007.3
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平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
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プラズマ スパッタリング ニ オケル ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ プロセス ノ カイメイ
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[課題番号]: 17340174