プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明

Author(s)

    • 浜口, 智志 ハマグチ, サトシ

Bibliographic Information

プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明

研究代表者 浜口智志

[浜口智志], 2007.3

Other Title

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

Title Transcription

プラズマ スパッタリング ニ オケル ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ プロセス ノ カイメイ

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Note

[課題番号]: 17340174

Details

  • NCID
    BA83700400
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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