EUV光源の開発と応用
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EUV光源の開発と応用
シーエムシー出版, 2007.2
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Development and application of extreme ultraviolet light source
エレクトロニクス材料・技術シリーズ
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EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
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Note
文献あり
カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1編 EUV光源の開発(露光装置とEUVリソグラフィ;EUVリソグラフィ用光源プラズマ;プラズマ励起用高出力固体レーザー開発の現状;究極の変換効率の超微粒子広域分散型ターゲットレーザー生成プラズマX線源 ほか)
- 第2編 EUVリソグラフィ用のマスクとレジスト技術(X線多層膜の物理;EUV用反射型マスク基板;EUV用マスク;EUVレジストの特異性と反応機構 ほか)
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