半導体工場・装置・設備

著者

書誌事項

半導体工場・装置・設備

（Electronic Journal別冊）

電子ジャーナル, 2006.9

• 2007

タイトル別名

Semiconductor fab/equipment/facilities

タイトル読み

ハンドウタイ コウジョウ ソウチ セツビ

• NII書誌ID(NCID): BA84147297
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 880p
• 大きさ: 28cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA55610070