シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究

著者

• 井上, 直久 イノウエ, ナオヒサ

書誌事項

シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究

研究代表者 井上直久

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成16年度〜平成17年度）

井上直久, 2006.5

タイトル別名

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

タイトル読み

シリコン ケッショウチュウ ノ チッソ ノ ジョウタイ ヘンカ ト ノウド ソクテイホウ ノ ケンキュウ

注記

[課題番号]: 16560014

研究分担者:桝本和義

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詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA84350552
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [堺]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121