MEMSマテリアルの最新技術

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MEMSマテリアルの最新技術

江刺正喜監修

シーエムシー出版, 2007.11

Other Title

Advanced technology of MEMS material

Title Transcription

MEMS マテリアル ノ サイシン ギジュツ

Available at  / 20 libraries

Note

カバーにシリーズ名の表記あり 新材料・新素材シリーズ

文献: 節末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 序章　ＭＥＭＳの基礎と応用
  • 第１章　ＭＥＭＳ材料（圧電薄膜（ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ）；カーボンナノチューブ　ほか）
  • 第２章　ＭＥＭＳの製作（レジスト塗布・露光技術；エッチング技術　ほか）
  • 第３章　ＭＥＭＳデバイス（ＭＥＭＳジャイロ；時間・周波数源用ＭＥＭＳ共振子　ほか）
  • 第４章　ＭＥＭＳ周辺と応用（身の回りの機械に使われているＭＥＭＳ（東北大学‐早稲田塾のスーパーナノメカニクスプログラム）；静電容量型ＭＥＭＳセンサ用ＬＳＩ　ほか）

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Details

  • NCID
    BA84375112
  • ISBN
    • 9784882319689
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    viii, 368p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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