CMOS hotplate chemical microsensors

著者

• Graf, M. (Markus)

書誌事項

CMOS hotplate chemical microsensors

M. Graf ... [et al.]

（Microtechnology and MEMS）

Springer, c2007

タイトル別名

Complementary metal oxide semiconductor hotplate chemical microsensors

注記

Includes bibliographical references (p. 113-121) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA84530179
• ISBN:
  • 9783540695615
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: xii, 125 p.
• 大きさ: 24 cm
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Design and construction
  • LCSH : Microfabrication
• 親書誌ID:
  • BA51409718