最先端スーパー洗浄技術 : エレクトロニクスの最新精密洗浄技術

著者

• 東レリサーチセンター調査研究部門 トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン

書誌事項

最先端スーパー洗浄技術 : エレクトロニクスの最新精密洗浄技術

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2007.10

タイトル読み

サイセンタン スーパー センジョウ ギジュツ : エレクトロニクス ノ サイシン セイミツ センジョウ ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA84959816
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 323p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03390472