書誌事項

最先端スーパー洗浄技術 : エレクトロニクスの最新精密洗浄技術

(TRC R&D library)

東レリサーチセンター, 2007.10

タイトル読み

サイセンタン スーパー センジョウ ギジュツ : エレクトロニクス ノ サイシン セイミツ センジョウ ギジュツ

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詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BA84959816
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    323p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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