基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法、並びにその特性評価試験用校正試料の標準化)成果報告書
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基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法、並びにその特性評価試験用校正試料の標準化)成果報告書
マイクロマシンセンター, 2007.3
- 平成18年度
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キジュン ニンショウ ケンキュウ カイハツ ジギョウ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ ジュミョウ カソク シケンホウ ナラビニ ソノ トクセイ ヒョウカ シケンヨウ コウセイ シリョウ ノ ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
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注記
平成18年度経済産業省委託事業成果
文献あり
