マイクロマシン/MEMS技術大全

著者

書誌事項

マイクロマシン/MEMS技術大全

（Electronic Journal別冊）

電子ジャーナル, 2008.2

• 2008

タイトル別名

MEMS technology outlook

マイクロマシン MEMS 技術大全

タイトル読み

マイクロ マシン MEMS ギジュツ タイゼン

注記

編集・発行人: 木浦成俊

• NII書誌ID(NCID): BA85138418
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 780p
• 大きさ: 28cm
• 親書誌ID:
  • BA55610070