エレクトロニクス薄膜技術
著者
書誌事項
エレクトロニクス薄膜技術
（CMCテクニカルライブラリー, 287）
シーエムシー出版, 2008.5
普及版
- タイトル別名
-
次世代エレクトロニクス薄膜技術
Thin film technology for electronics
- タイトル読み
-
エレクトロニクス ハクマク ギジュツ
大学図書館所蔵 全57件
この図書・雑誌をさがす
注記
初版のタイトル: 次世代エレクトロニクス薄膜技術
内容説明・目次
目次
- 第１章 薄膜作製技術の歴史と意義
- 第２章 計算化学による結晶成長制御手法
- 第３章 常圧プラズマＣＶＤ技術とその応用
- 第４章 ラダー電極を用いたＶＨＦプラズマ応用薄膜形成技術
- 第５章 触媒化学気相堆積法とその応用
- 第６章 コンビナトリアルテクノロジー—集積化薄膜技術による材料開発の革新
- 第７章 パルスパワー技術と応用
- 第８章 半導体薄膜の作製
- 第９章 ナノ構造磁性薄膜の作製とスピントロニクスへの応用
- 第１０章 強誘電体薄膜の作製とメモリ素子への応用
「BOOKデータベース」 より