減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築

著者

• 大嶋, 元啓 オオシマ, モトヒロ

書誌事項

減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築

大嶋元啓 [著]

[大嶋元啓], [2008]

タイトル読み

ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク

注記

同志社大学博士論文(甲)第352号

本論文に関する公表論文: p150-155

参考文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA86002943
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: vi, 155p
• 大きさ: 30cm