減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築

Author(s)

    • 大嶋, 元啓 オオシマ, モトヒロ

Bibliographic Information

減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築

大嶋元啓 [著]

[大嶋元啓], [2008]

Title Transcription

ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク

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Note

同志社大学博士論文(甲)第352号

本論文に関する公表論文: p150-155

参考文献: 各章末

Details

  • NCID
    BA86002943
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    vi, 155p
  • Size
    30cm
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