Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications

著者

• Setter, N. (Nava)

書誌事項

Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications

edited by Nava Setter

（Electronic materials, science & technology）

Springer Science+Business Media, c2005

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA86032070
• ISBN:
  • 0387233105
• LCCN: 2004058924
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xii, 414 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA29287808