ウェハー上のマイクロ冷凍機

Author(s)

• 久保田, 裕巳 クボタ, ヒロミ

Bibliographic Information

ウェハー上のマイクロ冷凍機

研究代表者 久保田裕巳

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18年度-平成19年度）

[九州大学], 2008.3

Other Title

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Title Transcription

ウェハージョウ ノ マイクロ レイトウキ

Note

研究課題番号: 18560203

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Details

• NCID: BA86350429
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 37枚
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121