超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

著者

• 東谷, 公 ヒガシタニ, コウ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

書誌事項

超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

東谷公研究代表

[東谷公], 2006.6

タイトル別名

平成15～17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 : (課題番号 15206085)

超平坦化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

タイトル読み

チョウヘイカツカ チョウセンジョウ プロセッシング ニオケル ブンシ オーダ キバン ギジュツ ノ カクリツ

注記

異なりアクセスタイトルは科学研究費補助金データベースによる

京都大学工学研究科

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA86435419
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm