Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 1052）
Materials Research Society, c2008
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Other editors: Mark G. da Silva, S. Mark Spearing, Srikar Vengallatore
