分子気体効果を利用した新型真空ポンプの開発
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書誌事項
分子気体効果を利用した新型真空ポンプの開発
[杉元宏], 2006.3
- タイトル別名
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平成15年度～平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 : 研究課題番号 15560139
- タイトル読み
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ブンシ キタイ コウカ オ リヨウ シタ シンガタ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
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注記
京都大学大学院工学研究科
