軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

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軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

研究代表者 波岡武 [ほか著]

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和60年度）

[出版者不明], 1986.3

Other Title

昭和60年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

Title Transcription

ナンXセン リソグラフィーヨウ コウゲン オヨビ コウガクケイ ノ カイハツ

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研究課題番号:5985007

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Details

  • NCID
    BA8671333X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    36p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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