軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

Author(s)

• 波岡, 武 ナミオカ, タケシ

Bibliographic Information

軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

研究代表者 波岡武 [ほか著]

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和60年度）

[出版者不明], 1986.3

Other Title

昭和60年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

Title Transcription

ナンXセン リソグラフィーヨウ コウゲン オヨビ コウガクケイ ノ カイハツ

Note

研究課題番号:5985007

• NCID: BA8671333X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 36p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA31269048