軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

著者

• 波岡, 武 ナミオカ, タケシ

書誌事項

軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発

研究代表者 波岡武 [ほか著]

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和60年度）

[出版者不明], 1986.3

タイトル別名

昭和60年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

タイトル読み

ナンXセン リソグラフィーヨウ コウゲン オヨビ コウガクケイ ノ カイハツ

注記

研究課題番号:5985007

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8671333X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 36p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA31269048