機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

Author(s)

    • 佐藤, 直幸 サトウ, ナオユキ

Bibliographic Information

機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

研究代表者 佐藤直幸

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）

[茨城大学大学院理工学研究科], 2008.5

Title Transcription

キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ

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研究課題番号: 16360356

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Details

  • NCID
    BA86746918
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [日立]
  • Pages/Volumes
    100p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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