機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

著者

• 佐藤, 直幸 サトウ, ナオユキ

書誌事項

機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

研究代表者 佐藤直幸

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）

[茨城大学大学院理工学研究科], 2008.5

タイトル読み

キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ

注記

研究課題番号: 16360356

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA86746918
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [日立]
• ページ数/冊数: 100p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701