マイクロ波原子間力顕微鏡の開発及びナノ領域における電気的特性の定量評価
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書誌事項
マイクロ波原子間力顕微鏡の開発及びナノ領域における電気的特性の定量評価
[出版者不明], 2008.5
- タイトル別名
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平成17年度〜平成19年度科学研究費補助金(基盤研究 (A))研究成果報告書
Development of microwave atomic force microscope and quantitative evaluation of electrical properties in nano-aria
- タイトル読み
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マイクロハ ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ カイハツ オヨビ ナノリョウイキ ニオケル デンキテキ トクセイ ノ テイリョウ ヒョウカ
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注記
課題番号:17206011
研究分担者: 村岡幹夫, 笹川和彦, 坂真澄
