電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

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電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

榊原建樹研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書, 平成8年度-平成10年度）

榊原建樹, 1999.3

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課題番号: 08555075

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Details

  • NCID
    BA87289786
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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