フィールドガイド偏光

著者

• Collett, Edward
• 笠原, 一郎 カサハラ, イチロウ

書誌事項

フィールドガイド偏光

Edward Collett著 ; 笠原一郎訳

（SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター）

オプトロニクス社, 2008.9

タイトル別名

Field guide to polarization

偏光

タイトル読み

フィールド ガイド ヘンコウ

注記

参考文献: p128-129

内容説明・目次

目次

• 変数と記号の説明
• リソグラフィー工程
• 像形成
• フォトレジストへの像形成
• フォトレジストの化学
• リソグラフィー制御と最適化
• 公式集
• 用語解説

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA87290537
• ISBN:
  • 9784902312324
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: eng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiv, 143p
• 大きさ: 21cm
• 親書誌ID:
  • BA87289924